芯稀材料科技（南京）有限公司半导体用高端材料综合生产项目环境影响评价第一次公示。
项目名称：半导体用高端材料综合生产项目；建设地点：江苏省南京市江北新区（浦口区）科盛路19号芯联智谷B区3AB楼一层；建设性质：扩建。
建设内容：合理布局及利用江北新区科盛路19号芯联智谷B区3AB楼一层3000平的场地，扩建区域依托原有厂房预留空间，购置内衬反应釜、离心机等设备，建设85T/a功能湿电子化学品；购置沉淀反应釜、电加热煅烧炉等设备，建设90.4T/aCMP材料的半导体用高端材料生产线。建成后湿电子化学品总产能达85吨/年，CMP材料总产能达290.4吨/年。通过溶解、结晶、分离等工序生产功能湿电子化学品，年产85吨，产品纯度达到电子级标准（含量：≥99.99%：金属杂质≤0.5ppb、控制颗粒粒径≤0.5μm、颗粒数≤25个/mL），主要用于半导体晶圆制造过程中清洗、金属缓蚀等环节。通过沉淀合成、研磨、煅烧等工序生产CMP材料，年产290.4吨，产品纯度达到电子级标准（金属杂质≤0.5ppb、控制颗粒粒径≤0.5μm、颗粒数≤25个/mL)，主要用于半导体晶圆制造抛光环节。
现有工程及其环境保护情况：现有项目年产50t纳米级氧化铈及150t微米级氧化铈，目前正在建设。现有项目沉淀合成废气通过二级水喷淋工艺处理后排放，煅烧废气达标排放，研磨筛分包装废气经捕集器收集后，再采用布袋除尘工艺处理；厂内喷淋废水和清洗废水进行回用，纯水制备产生的废水和生活污水统一接管至园区葛塘污水处理厂。固体废物全部综合利用或安全处置。
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